Temtop乐控 (上海) 环境技术有限公司,隶属于美国Elitech Technology, Inc.旗下。致力于提供光散射环境颗粒物传感器技术及相关关键环境监测仪器, 旨在为全球用户提供环境颗粒物监测的一站式解决方案。
刻蚀制程车间颗粒超标会直接影响芯片良率、设备寿命与工艺稳定性。本文解析颗粒污染带来的核心危害,并介绍粒子计数器在半导体洁净室中的监测方案与选型要点。
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